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美国 Granville-Phillips真空计 Granville Phillips®产品线属于MKS Instruments公司。总部位于马萨诸塞州安多佛市,是一家仪器、子系统和过程控制解决方案供应商,用于管理先进制造过程的关键参数。MKS的产品来源于在压力、真空和流量测量和控制、工具、射频和直流电源、无功气体产生、气体输送和成分分析以及泄漏检测方面的核心能力。MKS的主要服务市场是半导体器件和其他薄膜应用的资本设备制造商。 产品询价

Granville-Phillips的275 Mini-Convectron模块提供从大气压到10E-4Torr跨越七个数量级的真空压力测量。有模拟量输出型、R8485输出接口型及Device Net输出接口型(在另外的样器中介绍)可选。基本型带有可调的设审点爆电器允许你控制真空工艺的其他功能或是实现安全互锁。数显型带有明亮的三位数字显示可以实时显示现场压力测量値。带有方便的线性模拟量输出信号的版本也是可选的。

特点

压力测量范围宽,从大气压至10E-4Torr

单独校准规管保证的测量性能

结构紧凑、坚固耐用,抗辐射和噪音符合CE认证

数字接口可用于与计算机控制系统通讯

本地显示选项可选



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