服务热线：021-37214606/07/08/09 E-mail：info@phidixglobal.com
扫描二维码

中文 ｜ English

您当前的位置：首页 > 产品中心 > 流体控制及计量 > 测试专用 > 美国 MKS 真空计

美国 MKS 真空计

MKS流量计公司成立于 1961 年，是一家提供仪器、子系统和过程控制解决方案的供应商,可测量、控制、供电、监控和分析先进制造工艺的关键参数，以提高工艺性能和生产率。

MKS流量计公司的产品源自我们在压力测量和控制、材料输送、气体成分分析、控制和信息技术、功率和反应气体生成、真空技术、光子学、激光、光学和运动控制等领域的竞争力。

我们主要服务的客户是薄膜资本设备制造商，包括MKS半导体器件、MKS工艺制造、MKS环境、MKS生命科学和科学研究市场。

产品询价
623A 绝对压力传感器
产品分类：MKS真空计压力计
 
Baratron® 薄膜电容式压力传感器 (工作在室温)
622A 绝对压力传感器，满量程范围：1 – 1000 Torr，精度：读数值的百分之0.15
626A 绝对压力传感器，满量程范围：0.1–1000 Torr，精度：读数值的百分之0.15
623A 绝对压力传感器 (带继电器触点控制)，满量程范围：10 – 1000 Torr，精度：读数值的百分之0.15
722A 紧凑型绝对压力传感器，满量程范围:1 – 2500 Torr，精度：读数值的百分之0.5
i-Baratron® DMA 带DeviceNet™ 通讯口的数字绝对压力传感器， 满量程范围： 0.1 – 1000 Torr，精度：读数值的百分之0.15。
计量单位：台


MKSE29E压力计传感器
产品分类：MKS真空计压力计
 
Baratron® 薄膜电容式压力传感器 (温度控制在45℃)
627B/629B 绝对压力传感器，满量程范围：0.02 – 1000 Torr，精度：读数值的百分之0.12。
E27B/E29B Etch 专用绝对压力传感器，满量程范围：0.02 – 100 Torr，精度：读数值的百分之0.12。
624B 绝对压力传感器 (带继电器触点控制)，满量程范围：1 – 2000 Torr，精度：读数值的百分之0.12。
727A 紧凑型绝对压力传感器，满量程范围：1 – 1000 Torr，精度：读数值的百分之0.5。
627C/E27C e-Baratron® 带以太网通讯口的绝对压力传感器/ Etch专用绝对压力传感器， 满量程范围： 0.1 – 1000 Torr，精度：读数值的百分之0.12。
i-Baratron® DMA 带DeviceNet™ 通讯口的数字绝对压力传感器， 满量程范围： 0.1 – 1000 Torr，精度：读数值的百分之0.12。
D27B/D24B 双量程绝对压力传感器/绝对压力传感器 (带继电器触点控制)， 满量程范围： 1 – 1000 Torr，精度：读数值的百分之0.12。
计量单位：台

MPG400/MPG401冷阴极皮拉尼复合真空规
产品分类：MKS真空计压力计
 
NFICON的冷阴极和皮拉尼的复合真空规 MPG400和MPG401, 测量范围从 5x10-9毫巴至大气压(3.8 x10-9乇至大气压).将两种测量方式组合在一个具有对数模拟输出的小型单元内,大大地降低了安装,设置和集成的复杂性.
MPG400冷阴极和皮拉尼的复合真空规的详细介绍
优点：
■复合真空规—冷阴极与皮拉尼
■宽的压强测量范围从5X10-9毫巴至大气压
■无可烧毁的灯丝
■卓越的引燃功能
■易清洗
■FPM或金属密封的馈入件
■高压加上时LED指示灯亮
■对数模拟输出讯号
应用：
■高真空压强监测
■蒸发和溅射系统的压强测量
■一般真空测量和控制，从中至高真空范围


PSG500 Pirani /PSG502标准真空计
产品分类：MKS真空计压力计
 
简单介绍
 INFICON的 Pirani 标准真空计 PSG500 和 PSG502-S 代表封装在坚固耐用小型管壳内的最先进的Pirani技术.温度补偿提供快速与最稳定的真空测量并消除了对大气压强反应慢的问题. 坚固耐用的不锈钢传感单元更适用于半导体系统, 以及常规用途如前级真空管道中.
 
PSG500 Pirani 标准真空计
 
特点：
■ 占空间小
■ 任何方位安装
■ 不锈钢测量单元的金属密封馈入件
■ 最佳化的温度补偿
■ 易于集成的对数讯号输出
■ 至10巴绝对压力的高过压能力，用螺纹连接件
■ 烘烤型在法兰处可达到250 °C
■ 易于更换的传感单元
 
应用： 
■ 控制高真空电离真空计
■ 前级真空压强监测
■ 真空系统中的安全电路
■ 在中真空和粗真空范围内的一般真空测量与控制



PCG400复合型真空计
产品分类：MKS真空计压力计
 

INFICON PCG400和PCG410型复合皮拉尼与电容膜片技术用于从5X10-4至1500毫巴（3.8X10-4至1125乇）精确度和可重复的压强测量。与对流增强型皮拉尼不同，PCG可任意方向安装，便于灵活地添加探头。


特点：
■任意方向安装
■放空快速响应，缩短周期时间
■快速与可靠的读值，无需大气压调节
■单一对数/线性模拟输出讯号
■易于工艺集成

■小型结构，节省有价值的工艺空间


应用：
■自锁
■前级压强监测
■真空系统中的安全电路
■在中真空和粗真空范围内一般测量与控制
■控制高真空电离真空计
相关产品
相关新闻